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晶拓浅谈液晶显示器的制造工艺

作者: 晶拓小编 编辑: 晶拓液晶屏 来源: 晶拓液晶屏工厂 发布日期: 2018.08.02
信息摘要:
据晶拓小编了解到液晶显示器的制造工艺与集成电路的制造工艺基本相似,不同的是液晶显示器中的TFT层状结构制作于玻璃基板上,而不是硅片上,此外,…

据晶拓小编了解到液晶显示器的制造工艺与集成电路的制造工艺基本相似,不同的是液晶显示器中的TFT层状结构制作于玻璃基板上,而不是硅片上,此外,TFT加工工艺所要求的温度范围是300~500℃,而集成电路制作工艺要求的温度范围是1000℃。

淀积工艺:应用于液晶显示器制造工艺的淀积(Deposition)方法主要有两种:一种是离子增强型化学气相淀积法,另一种是溅射淀积法。离子增强型化学气相淀积的基本原理是:将玻璃基板至于真空腔室中,并且加热至一定的温度,随后通入混合气体,同时RF电压施加于腔室电极上,混合气体转变为离子状态,于是在基体上形成一种金属或化合物的固态薄膜或镀层。溅射淀积法的基板原理是:在真空室中,利用荷能粒子轰击靶,使其原子获得足够的能量而溅出进入气相,然后在工件表面淀积出与靶相同材料的薄膜。一般地,为不改变靶材的化学性质,荷能粒子为氦离子和氩离子。溅射淀积法有直流溅射法、射频溅射法等多种。

晶拓浅谈液晶显示器的制造工艺

光刻工艺:将掩膜上的图形转移至玻璃基板上的过程。由于LCD板上的刻线品质取决于光刻工艺,因此它是LCD加工过程中最重要的工艺之一。光刻工艺对环境中的粉尘颗粒很敏感,因此它必须置于高度洁净的室内完成。

刻蚀工艺:分为湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺,湿法刻蚀工艺用液体化学试剂以化学方式去除基板表面的材料,其优点是用时短、成本低、操作简单。干法刻蚀工艺是用等离子体进行薄膜线条腐蚀的一种工艺,按照反应机理可分为等离子刻蚀、反应离子刻蚀、磁增强反应离子刻蚀和高密度等离子刻蚀等类型,按结构形式又可分为筒型、平行平板型。干法刻蚀工艺的优点是横向腐蚀小,控制精度高,大面积刻蚀均匀性好,利用ICP技术还可以刻蚀垂直度和光洁度都非常好的镜面,因此,干法腐蚀在制作微米及深亚微米,纳米级的几何图形加工方面,有很明显的优势。

液晶显示器制造工艺的发展趋势:由于玻璃底板的大小对生产线所能加工的LCD最大尺寸,以及加工的难度起决定作用,所以LCD业界根据生产线所能加工的玻璃底板的最大尺寸来划分生产线属于哪一代,例如5代线最高阶段的底板尺寸是1200X1300mm,最多能切割6片27英寸宽屏LCD-TV用基板;6代线底板尺寸为1500X1800mm,切割32英寸基板可以切割8片,37英寸可以切割6片。7代线的底板尺寸是1800X2100mm,切割42英寸基板可以切割8片,46英寸可以切割6片。图4.1给出了1~7代的玻璃底板尺寸界定情况。目前,全球范围已经进入第6代和第7代产品生产的阶段,预计在未来两年里,第5代及第5代之前的生产能力的增加幅度将逐渐减小,而第6代和第7代的生产能力在近两年将形成加快增长的态势。

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